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  • 公司動態

    格創東智成為SEMI中國智能制造委員會會員單位

    2020-11-20

    11月19日,2020北京微電子國際研討會暨IC WORLD學術會議的專題論壇【“智”造未來——半導體先進制造】順利召開,這也是SEMI中國智能制造委員會會議之一。



    格創東智首席智能制造顧問王錦博士受邀出席并發表主題演講《大數據分析在半導體制造行業中的應用》,分享了虛擬量測的作用和價值、業務成果以及在半導體制造領的應用與普及。



    王錦博士認為,由于半導體制造的高精密要求,其制備過程具有反復重入、生產周期長、工藝制程多、多品種多批次、工序間等待時間短等痛點。并且半導體制造過程會產生大量數據,而數據若不能發揮作用,就是巨大的風險。

    而半導體制造數據若要智能化,必須通過提升數據完備性、機理確定性以及業務時效性,進而提升生產實效性。

    一、數據完備性
    東智工業應用智能平臺強大的數據采集和處理能力,能夠打通孤立的信息系統,整合多端數據,支撐產線調整與創新,提升設備數據完備性。

    二、機理確定性
    機理確定性由低到高可以分為三個階段:手動查找->自動監控->智能分析。

    手動查找階段:設備工程師和制程工程師結合工作經驗找到關鍵因子,效率低下,時效長。
    自動監控階段:單因子建模系統針對單因子狀態進行實時監控,發生異常進行攔截。但由于監控緯度單一,監控模型的有效性還存疑。
    智能分析階段:通過多因子分析建模工具,對多因子交互影響進行分析,快速找出異常因子,找出根因并進行處理和預防。

    東智MFA多因子建模工具能夠實時挖掘出影響生產、產品異常的關鍵因子,降低生產損失,提升設備機理確定性。

    三、業務時效性
    通過格創東智虛擬量測工具可以有效提升業務時效性。
    虛擬量測(Virtual Metrology,VM)是一種不需要物理量測操作,而是基于過程工具收集到的數據、應用智能運算、實時推測制程品質的方法。VM由預處理的可量測數據和FDC等系統輸出的生產可測數據作為輸入,預測批末數據特性,是一種潛在的提供低成本、快速和準確的量測信息的解決方案,提升設備業務時效性。

    制程工藝參數和實際量測數據通過數據預處理、數據過濾、模型建立、模型自助優化這四個階段,可以輸出難以測量的預測數量。

    通過應用虛擬量測,可以實現全面品質預測,降低抽檢頻率,縮短生產周期,減少測量設備購買數量,降低成本。其在半導體制造領域也有巨大應用前景,半導體制造內晶圓邊緣膜厚不均勻、CMP晶圓片多種缺陷等問題,通過MFA多因子分析、虛擬量測模型構建,晶圓制造過程由經驗決策轉變為數據決策,顯著提升CMP制程良率,提高產品電性參數穩定性,降低產品抽檢率,縮短生產周期。

    在當天下午召開的SEMI China智能制造委員會閉門會議上,SEMI全球副總裁、中國區總裁居龍為格創東智授予了會員單位獎牌。



    加入SEMI中國智能制造委員會后,格創東智將繼續在助力半導體企業進行智能化轉型的道路上努力前行,為中國智能制造技術的高速發展出謀劃策,打下堅實的基礎。


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